安徽大学学报(自然科学版)
安徽大學學報(自然科學版)
안휘대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF ANHUI UNIVERSITY
2008年
2期
60-64
,共5页
汪壮兵%陈凌涛%李祥%鲁迎春%梁齐
汪壯兵%陳凌濤%李祥%魯迎春%樑齊
왕장병%진릉도%리상%로영춘%량제
电子束蒸发%X射线衍射%拉曼谱%原子力显微镜
電子束蒸髮%X射線衍射%拉曼譜%原子力顯微鏡
전자속증발%X사선연사%랍만보%원자력현미경
用电子柬蒸发制备一系列纳米znO薄膜,用XRD和AFM研究其结构和形貌,重点研究其拉曼谱.ZnO靶的拉曼谱出现了4个明显的峰,与文献报道基本一致.室温下沉积的ZnO薄膜中存在大量缺陷和氧空位,其拉曼频移只有LO模和低频E:模,且其LO模有相对频移,峰展宽,强度加强.ZnO膜的高频拉曼谱对其结构不敏感,各种制备条件下的ZnO膜其高频拉曼谱基本一致.对拉曼谱,结合XRD和AFM分析给出了初步的解释.
用電子柬蒸髮製備一繫列納米znO薄膜,用XRD和AFM研究其結構和形貌,重點研究其拉曼譜.ZnO靶的拉曼譜齣現瞭4箇明顯的峰,與文獻報道基本一緻.室溫下沉積的ZnO薄膜中存在大量缺陷和氧空位,其拉曼頻移隻有LO模和低頻E:模,且其LO模有相對頻移,峰展寬,彊度加彊.ZnO膜的高頻拉曼譜對其結構不敏感,各種製備條件下的ZnO膜其高頻拉曼譜基本一緻.對拉曼譜,結閤XRD和AFM分析給齣瞭初步的解釋.
용전자간증발제비일계렬납미znO박막,용XRD화AFM연구기결구화형모,중점연구기랍만보.ZnO파적랍만보출현료4개명현적봉,여문헌보도기본일치.실온하침적적ZnO박막중존재대량결함화양공위,기랍만빈이지유LO모화저빈E:모,차기LO모유상대빈이,봉전관,강도가강.ZnO막적고빈랍만보대기결구불민감,각충제비조건하적ZnO막기고빈랍만보기본일치.대랍만보,결합XRD화AFM분석급출료초보적해석.
