现代电子技术
現代電子技術
현대전자기술
MODERN ELECTRONICS TECHNIQUE
2011年
2期
119-122
,共4页
电容测微%边缘传感器%信号调理%AD8302%相位检测
電容測微%邊緣傳感器%信號調理%AD8302%相位檢測
전용측미%변연전감기%신호조리%AD8302%상위검측
电容测微方法能够检测到微小的位移变化,在此利用电容测微法设计制作电容式边缘传感器,该传感器可以用来检测拼接在一起或者相互平行的两平板之间的位置变化.给出了电客式边缘传感器的设计原理,传感器的主要结构以及设计过程中遇到的问题和解决方案.并在实验室进行了验证,给出了实验结果.实验结果换算到位移变化达到了检测到小于5 nm的位置变化的科研目标.该传感器可以广泛应用于拼接望远镜,法珀等天文仪器控制领域和其他工业控制领域.
電容測微方法能夠檢測到微小的位移變化,在此利用電容測微法設計製作電容式邊緣傳感器,該傳感器可以用來檢測拼接在一起或者相互平行的兩平闆之間的位置變化.給齣瞭電客式邊緣傳感器的設計原理,傳感器的主要結構以及設計過程中遇到的問題和解決方案.併在實驗室進行瞭驗證,給齣瞭實驗結果.實驗結果換算到位移變化達到瞭檢測到小于5 nm的位置變化的科研目標.該傳感器可以廣汎應用于拼接望遠鏡,法珀等天文儀器控製領域和其他工業控製領域.
전용측미방법능구검측도미소적위이변화,재차이용전용측미법설계제작전용식변연전감기,해전감기가이용래검측병접재일기혹자상호평행적량평판지간적위치변화.급출료전객식변연전감기적설계원리,전감기적주요결구이급설계과정중우도적문제화해결방안.병재실험실진행료험증,급출료실험결과.실험결과환산도위이변화체도료검측도소우5 nm적위치변화적과연목표.해전감기가이엄범응용우병접망원경,법박등천문의기공제영역화기타공업공제영역.
