沈阳农业大学学报
瀋暘農業大學學報
침양농업대학학보
JOURNAL OF SHENYANG AGRICULTURAL UNIVERSITY
2012年
1期
117-119
,共3页
赵文锋%许利霞%宋淑然%王海林%陈俊芳
趙文鋒%許利霞%宋淑然%王海林%陳俊芳
조문봉%허리하%송숙연%왕해림%진준방
尘埃等离子体%Si3N4%纳米粉体
塵埃等離子體%Si3N4%納米粉體
진애등리자체%Si3N4%납미분체
为了提高氮化硅材料的弹性模量和烧结后的强度和韧度,通过感应耦合等离子体技术产生尘埃等离子体,采用SiH4和N2为反应气体,气相沉积Si3N4纳米粉体材料.利用朗缪尔探针技术测得沉积室中离子密度分布,获得气压为53Pa时,不同射频功率和不同位置处离子密度分布规律.通过TEM、IR和XRD技术对Si3N4纳米粉体材料微结构进行了分析.结果表明:尘埃等离子体技术制备的纳米Si3N4粉体材料为球形,均匀分布在20nm,并且具有β-Si3N4晶相.
為瞭提高氮化硅材料的彈性模量和燒結後的彊度和韌度,通過感應耦閤等離子體技術產生塵埃等離子體,採用SiH4和N2為反應氣體,氣相沉積Si3N4納米粉體材料.利用朗繆爾探針技術測得沉積室中離子密度分佈,穫得氣壓為53Pa時,不同射頻功率和不同位置處離子密度分佈規律.通過TEM、IR和XRD技術對Si3N4納米粉體材料微結構進行瞭分析.結果錶明:塵埃等離子體技術製備的納米Si3N4粉體材料為毬形,均勻分佈在20nm,併且具有β-Si3N4晶相.
위료제고담화규재료적탄성모량화소결후적강도화인도,통과감응우합등리자체기술산생진애등리자체,채용SiH4화N2위반응기체,기상침적Si3N4납미분체재료.이용랑무이탐침기술측득침적실중리자밀도분포,획득기압위53Pa시,불동사빈공솔화불동위치처리자밀도분포규률.통과TEM、IR화XRD기술대Si3N4납미분체재료미결구진행료분석.결과표명:진애등리자체기술제비적납미Si3N4분체재료위구형,균균분포재20nm,병차구유β-Si3N4정상.
