真空
真空
진공
VACUUM
2002年
3期
10-12
,共3页
王增福%陈步亮%范斌%张再鸣%李然
王增福%陳步亮%範斌%張再鳴%李然
왕증복%진보량%범빈%장재명%리연
多功能%离子镀%多层镀
多功能%離子鍍%多層鍍
다공능%리자도%다층도
本文回顾了多弧--磁控溅射多功能离子镀膜设备的结构和功能,并且对该设备在氮化钛掺金离子镀(IPG)方面的典型应用,做了较为详细的膜层性能分析.同时,本文又对近年来一种新型的多功能离子镀设备--复合式离子镀膜设备的结构及特点做了介绍,给出了该类型设备的典型应用场合,并且向读者介绍了使用该设备镀制的金属/金属陶瓷多层膜的优异性能.
本文迴顧瞭多弧--磁控濺射多功能離子鍍膜設備的結構和功能,併且對該設備在氮化鈦摻金離子鍍(IPG)方麵的典型應用,做瞭較為詳細的膜層性能分析.同時,本文又對近年來一種新型的多功能離子鍍設備--複閤式離子鍍膜設備的結構及特點做瞭介紹,給齣瞭該類型設備的典型應用場閤,併且嚮讀者介紹瞭使用該設備鍍製的金屬/金屬陶瓷多層膜的優異性能.
본문회고료다호--자공천사다공능리자도막설비적결구화공능,병차대해설비재담화태참금리자도(IPG)방면적전형응용,주료교위상세적막층성능분석.동시,본문우대근년래일충신형적다공능리자도설비--복합식리자도막설비적결구급특점주료개소,급출료해류형설비적전형응용장합,병차향독자개소료사용해설비도제적금속/금속도자다층막적우이성능.
