稀有金属材料与工程
稀有金屬材料與工程
희유금속재료여공정
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
2005年
2期
312-315
,共4页
魏芹芹%薛成山%孙振翠%曹文田%庄惠照
魏芹芹%薛成山%孫振翠%曹文田%莊惠照
위근근%설성산%손진취%조문전%장혜조
GaN%Ga2O3/Al2O3膜%氨化%磁控溅射
GaN%Ga2O3/Al2O3膜%氨化%磁控濺射
GaN%Ga2O3/Al2O3막%안화%자공천사
研究了Ga2O3/Al2O3膜反应自组装制备GaN薄膜.首先利用磁控溅射法在硅衬底上制备Ga2O3/Al2O3膜,再将Ga2O3/Al2O3膜在高纯氨气气氛中氨化反应得到了GaN薄膜.用X射线衍射(XRD),X光光电子能谱(XPS)、扫描电镜(SEM)、透射电镜(TEM)和荧光光谱(PL)对样品进行结构、组分、形貌和发光特性的分析.测试结果表明:用此方法得到了六方纤锌矿结构的GaN晶体膜.
研究瞭Ga2O3/Al2O3膜反應自組裝製備GaN薄膜.首先利用磁控濺射法在硅襯底上製備Ga2O3/Al2O3膜,再將Ga2O3/Al2O3膜在高純氨氣氣氛中氨化反應得到瞭GaN薄膜.用X射線衍射(XRD),X光光電子能譜(XPS)、掃描電鏡(SEM)、透射電鏡(TEM)和熒光光譜(PL)對樣品進行結構、組分、形貌和髮光特性的分析.測試結果錶明:用此方法得到瞭六方纖鋅礦結構的GaN晶體膜.
연구료Ga2O3/Al2O3막반응자조장제비GaN박막.수선이용자공천사법재규츤저상제비Ga2O3/Al2O3막,재장Ga2O3/Al2O3막재고순안기기분중안화반응득도료GaN박막.용X사선연사(XRD),X광광전자능보(XPS)、소묘전경(SEM)、투사전경(TEM)화형광광보(PL)대양품진행결구、조분、형모화발광특성적분석.측시결과표명:용차방법득도료륙방섬자광결구적GaN정체막.
