压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2006年
6期
680-682,685
,共4页
导电氧化物%LaNiO3%晶格氧
導電氧化物%LaNiO3%晶格氧
도전양화물%LaNiO3%정격양
采用射频磁控溅射制备了具有(100)择优取向的赝立方钙钛矿结构的LaNiO3-x薄膜,并对薄膜在265℃的衬底温度下进行了原位热处理.测试结果表明薄膜具有金属导电性,薄膜中晶粒大小约为10 nm,并且热处理对薄膜的结构没有影响.同时,随着热处理时间延长,薄膜晶格的含氧量、电导率、光学折射率以及消光系数都将逐步降低.该文采用经典电磁理论,通过计算机模拟成功解释了这些实验结果和证明了以前给出的理论解释.此外,数值模拟和实验结果同时表明在纯氩气氛中溅射制备的LaNiO3薄膜晶格中存在氧空位,为了提高电导率,溅射时的氧气比例应超过20%.
採用射頻磁控濺射製備瞭具有(100)擇優取嚮的贗立方鈣鈦礦結構的LaNiO3-x薄膜,併對薄膜在265℃的襯底溫度下進行瞭原位熱處理.測試結果錶明薄膜具有金屬導電性,薄膜中晶粒大小約為10 nm,併且熱處理對薄膜的結構沒有影響.同時,隨著熱處理時間延長,薄膜晶格的含氧量、電導率、光學摺射率以及消光繫數都將逐步降低.該文採用經典電磁理論,通過計算機模擬成功解釋瞭這些實驗結果和證明瞭以前給齣的理論解釋.此外,數值模擬和實驗結果同時錶明在純氬氣氛中濺射製備的LaNiO3薄膜晶格中存在氧空位,為瞭提高電導率,濺射時的氧氣比例應超過20%.
채용사빈자공천사제비료구유(100)택우취향적안립방개태광결구적LaNiO3-x박막,병대박막재265℃적츤저온도하진행료원위열처리.측시결과표명박막구유금속도전성,박막중정립대소약위10 nm,병차열처리대박막적결구몰유영향.동시,수착열처리시간연장,박막정격적함양량、전도솔、광학절사솔이급소광계수도장축보강저.해문채용경전전자이론,통과계산궤모의성공해석료저사실험결과화증명료이전급출적이론해석.차외,수치모의화실험결과동시표명재순아기분중천사제비적LaNiO3박막정격중존재양공위,위료제고전도솔,천사시적양기비례응초과20%.
