AlGaAs湿法氧化的热稳定性研究
AlGaAs습법양화적열은정성연구
The Study on Thermal Stability of AlGaAs Wet Oxidation
  • 万方数据
    激光与红外 격광여홍외
    LASER & INFRARED
    2006年 9期 871-873 ,共3页

    董立闽%郭霞%渠红伟%邹德恕%廉鹏%邓军%沈光地

    동립민%곽하%거홍위%추덕서%렴붕%산군%침광지

    垂直腔面发射激光器%AlGaAs%湿法氧化%热稳定性 垂直腔麵髮射激光器%AlGaAs%濕法氧化%熱穩定性
    수직강면발사격광기%AlGaAs%습법양화%열은정성
    文中针对AlGaAs湿法氧化后器件热稳定性变差,导致性能下降的问题进行了研究.对不同氧化条件下样品的热稳定性进行了比较,证明采用降低炉温、延长氧化时间以及经过预加热处理等方法可以有效提高器件的热稳定性.利用拉曼谱分析了AlGaAs湿法氧化技术中影响热稳定性的因素,认为器件的热稳定性在一定程度上取决于湿法氧化生成物中挥发性产物含量的多少.
    문중침대AlGaAs습법양화후기건열은정성변차,도치성능하강적문제진행료연구.대불동양화조건하양품적열은정성진행료비교,증명채용강저로온、연장양화시간이급경과예가열처리등방법가이유효제고기건적열은정성.이용랍만보분석료AlGaAs습법양화기술중영향열은정성적인소,인위기건적열은정성재일정정도상취결우습법양화생성물중휘발성산물함량적다소.
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