河北大学学报（自然科学版）
河北大學學報（自然科學版）
하북대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF HEBEI UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2007年
1期
24-27
,共4页
于威%吕雪芹%宋维才%路万兵%傅广生
于威%呂雪芹%宋維纔%路萬兵%傅廣生
우위%려설근%송유재%로만병%부엄생
SiC薄膜%薄膜结构%光学带隙%光致发光
SiC薄膜%薄膜結構%光學帶隙%光緻髮光
SiC박막%박막결구%광학대극%광치발광
采用螺旋波等离子体增强化学气相沉积(HW-PECVD)技术制备了纳米晶碳化硅(nc-SiC)薄膜,利用傅立叶红外吸收谱(FTIR)、X射线衍射谱(XRD)、紫外-可见透射光谱(UV-Vis)和光致发光谱(PL)对薄膜的结构、光学带隙、发光特性等进行了测量和分析.结果表明,所沉积薄膜主要以Si-C键合结构存在,薄膜中包含有立方结构的3C-SiC晶粒,光学带隙2.59 eV,室温下薄膜表现出强的可见蓝色光致发光,发光峰位随氙灯激发波长的增加呈现红移现象,并将此发光归因于量子限制效应作用的结果.
採用螺鏇波等離子體增彊化學氣相沉積(HW-PECVD)技術製備瞭納米晶碳化硅(nc-SiC)薄膜,利用傅立葉紅外吸收譜(FTIR)、X射線衍射譜(XRD)、紫外-可見透射光譜(UV-Vis)和光緻髮光譜(PL)對薄膜的結構、光學帶隙、髮光特性等進行瞭測量和分析.結果錶明,所沉積薄膜主要以Si-C鍵閤結構存在,薄膜中包含有立方結構的3C-SiC晶粒,光學帶隙2.59 eV,室溫下薄膜錶現齣彊的可見藍色光緻髮光,髮光峰位隨氙燈激髮波長的增加呈現紅移現象,併將此髮光歸因于量子限製效應作用的結果.
채용라선파등리자체증강화학기상침적(HW-PECVD)기술제비료납미정탄화규(nc-SiC)박막,이용부립협홍외흡수보(FTIR)、X사선연사보(XRD)、자외-가견투사광보(UV-Vis)화광치발광보(PL)대박막적결구、광학대극、발광특성등진행료측량화분석.결과표명,소침적박막주요이Si-C건합결구존재,박막중포함유립방결구적3C-SiC정립,광학대극2.59 eV,실온하박막표현출강적가견람색광치발광,발광봉위수선등격발파장적증가정현홍이현상,병장차발광귀인우양자한제효응작용적결과.
