计量学报
計量學報
계량학보
ACTA METROLOGICA SINICA
2008年
3期
211-215
,共5页
罗志勇%杨丽峰%顾英姿%郭立功%丁京安%陈朝晖
囉誌勇%楊麗峰%顧英姿%郭立功%丁京安%陳朝暉
라지용%양려봉%고영자%곽립공%정경안%진조휘
计量学%阿伏加德罗常数%密度基准%五幅算法%单晶硅球%相移法%标准具
計量學%阿伏加德囉常數%密度基準%五幅算法%單晶硅毬%相移法%標準具
계량학%아복가덕라상수%밀도기준%오폭산법%단정규구%상이법%표준구
基于改进型五幅算法,利用压力扫描原理设计出腔长可变式法-珀标准具和柔性铰链微位移平台,实现了标准具腔长和硅球表面与标准具之间的相移测量,建立了一套技术原理新颖、提高潜力较大的相移法精密测长系统.该测量系统对硅球直径的测量准确度优于3 nm,单晶硅密度的测量不确定度达到1×10-7.
基于改進型五幅算法,利用壓力掃描原理設計齣腔長可變式法-珀標準具和柔性鉸鏈微位移平檯,實現瞭標準具腔長和硅毬錶麵與標準具之間的相移測量,建立瞭一套技術原理新穎、提高潛力較大的相移法精密測長繫統.該測量繫統對硅毬直徑的測量準確度優于3 nm,單晶硅密度的測量不確定度達到1×10-7.
기우개진형오폭산법,이용압력소묘원리설계출강장가변식법-박표준구화유성교련미위이평태,실현료표준구강장화규구표면여표준구지간적상이측량,건립료일투기술원리신영、제고잠력교대적상이법정밀측장계통.해측량계통대규구직경적측량준학도우우3 nm,단정규밀도적측량불학정도체도1×10-7.
