纳米技术与精密工程
納米技術與精密工程
납미기술여정밀공정
NANOTECHNOLOGY AND PRECISION ENGINEERING
2008年
5期
343-348
,共6页
微机电系统%微阀%有限元%SU-8
微機電繫統%微閥%有限元%SU-8
미궤전계통%미벌%유한원%SU-8
为解决微流体在微流控芯片上的单向流动,进而实现生化反应的片上系统,采用微机电系统(MEMS)技术加工出SU-8胶微型阀片.SU-8胶阀片具有弹性模量和弹性常数低、开启压力小、反向泄漏小、易于加工等特点.从理论上分析了不同厚度(10 μm,15 μm,20 μm,25 μm)的微型阀片在不同压力作用下的挠度和应力分布,在相同尺寸和压力下,SU-8微阀片的挠度与传统的硅阀片的挠度相比要大10倍左右.讨论了有阻尼作用下的谐振频率以及过流特性,可知阀臂和阀座的尺寸是影响阀片性能的主要因素.给出了加工工艺,测试了阀片的正反向过流性能,以水作为工作物质,得到3种厚度阀片的过流曲线,其最大正向流速达到7 000μL/min.
為解決微流體在微流控芯片上的單嚮流動,進而實現生化反應的片上繫統,採用微機電繫統(MEMS)技術加工齣SU-8膠微型閥片.SU-8膠閥片具有彈性模量和彈性常數低、開啟壓力小、反嚮洩漏小、易于加工等特點.從理論上分析瞭不同厚度(10 μm,15 μm,20 μm,25 μm)的微型閥片在不同壓力作用下的撓度和應力分佈,在相同呎吋和壓力下,SU-8微閥片的撓度與傳統的硅閥片的撓度相比要大10倍左右.討論瞭有阻尼作用下的諧振頻率以及過流特性,可知閥臂和閥座的呎吋是影響閥片性能的主要因素.給齣瞭加工工藝,測試瞭閥片的正反嚮過流性能,以水作為工作物質,得到3種厚度閥片的過流麯線,其最大正嚮流速達到7 000μL/min.
위해결미류체재미류공심편상적단향류동,진이실현생화반응적편상계통,채용미궤전계통(MEMS)기술가공출SU-8효미형벌편.SU-8효벌편구유탄성모량화탄성상수저、개계압력소、반향설루소、역우가공등특점.종이론상분석료불동후도(10 μm,15 μm,20 μm,25 μm)적미형벌편재불동압력작용하적뇨도화응력분포,재상동척촌화압력하,SU-8미벌편적뇨도여전통적규벌편적뇨도상비요대10배좌우.토론료유조니작용하적해진빈솔이급과류특성,가지벌비화벌좌적척촌시영향벌편성능적주요인소.급출료가공공예,측시료벌편적정반향과류성능,이수작위공작물질,득도3충후도벌편적과류곡선,기최대정향류속체도7 000μL/min.
