真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2009年
3期
277-281
,共5页
杜广煜%巴德纯%王晓光%惠秀梅
杜廣煜%巴德純%王曉光%惠秀梅
두엄욱%파덕순%왕효광%혜수매
二硫化钨%射频溅射%溅射工艺%化学成分%摩擦系数
二硫化鎢%射頻濺射%濺射工藝%化學成分%摩抆繫數
이류화오%사빈천사%천사공예%화학성분%마찰계수
本文研究了采用射频溅射法以3Cr13马氏体不锈钢为基片制备硫化钨薄膜.实验分别采用了不同的溅射功率、工作气压和沉积时间来制备样品.之后对三组样品分别进行物相分析、表面形貌观察、测定微区化学成分、结合力和摩擦系数.结果表明:通过射频溅射法可获得非晶态WS2薄膜,薄膜的S/W比一般小于2,并受溅射工艺影响较为明显,随着溅射功率的升高逐渐降低,随着溅射时间的延长明显升高.薄膜结合力受溅射工艺影响并不显著.通过射频溅射所获得薄膜的摩擦系数在一定范围内与其硫钨比成反比.
本文研究瞭採用射頻濺射法以3Cr13馬氏體不鏽鋼為基片製備硫化鎢薄膜.實驗分彆採用瞭不同的濺射功率、工作氣壓和沉積時間來製備樣品.之後對三組樣品分彆進行物相分析、錶麵形貌觀察、測定微區化學成分、結閤力和摩抆繫數.結果錶明:通過射頻濺射法可穫得非晶態WS2薄膜,薄膜的S/W比一般小于2,併受濺射工藝影響較為明顯,隨著濺射功率的升高逐漸降低,隨著濺射時間的延長明顯升高.薄膜結閤力受濺射工藝影響併不顯著.通過射頻濺射所穫得薄膜的摩抆繫數在一定範圍內與其硫鎢比成反比.
본문연구료채용사빈천사법이3Cr13마씨체불수강위기편제비류화오박막.실험분별채용료불동적천사공솔、공작기압화침적시간래제비양품.지후대삼조양품분별진행물상분석、표면형모관찰、측정미구화학성분、결합력화마찰계수.결과표명:통과사빈천사법가획득비정태WS2박막,박막적S/W비일반소우2,병수천사공예영향교위명현,수착천사공솔적승고축점강저,수착천사시간적연장명현승고.박막결합력수천사공예영향병불현저.통과사빈천사소획득박막적마찰계수재일정범위내여기류오비성반비.
