半导体技术
半導體技術
반도체기술
SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY
2009年
9期
845-848
,共4页
于会生%苏凤莲%王玉科%李明%郭强
于會生%囌鳳蓮%王玉科%李明%郭彊
우회생%소봉련%왕옥과%리명%곽강
铝焊垫%污染%键合%扫描电镜%能量弥散X射线探测器
鋁銲墊%汙染%鍵閤%掃描電鏡%能量瀰散X射線探測器
려한점%오염%건합%소묘전경%능량미산X사선탐측기
中;焊垫腐蚀区域的Cl则来源于焊垫蚀刻气体.
中;銲墊腐蝕區域的Cl則來源于銲墊蝕刻氣體.
중;한점부식구역적Cl칙래원우한점식각기체.
