电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2011年
6期
7-9,36
,共4页
对准系统%标记%相位光栅
對準繫統%標記%相位光柵
대준계통%표기%상위광책
描述了相位光栅对准法在步进重复投影光刻机中的运用,通过比较同轴对准系统和离轴对准系统的原理,工作过程,阐述了当对准标记产生变形时离轴对准系统能更好地修正偏差从而保证光刻工艺中套刻精度的要求.
描述瞭相位光柵對準法在步進重複投影光刻機中的運用,通過比較同軸對準繫統和離軸對準繫統的原理,工作過程,闡述瞭噹對準標記產生變形時離軸對準繫統能更好地脩正偏差從而保證光刻工藝中套刻精度的要求.
묘술료상위광책대준법재보진중복투영광각궤중적운용,통과비교동축대준계통화리축대준계통적원리,공작과정,천술료당대준표기산생변형시리축대준계통능경호지수정편차종이보증광각공예중투각정도적요구.
