光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2012年
3期
597-606
,共10页
压电陶瓷执行器%高压驱动电源%多单元级联%稳定性
壓電陶瓷執行器%高壓驅動電源%多單元級聯%穩定性
압전도자집행기%고압구동전원%다단원급련%은정성
为了改善压电陶瓷驱动电源在高电压输出下的动态特性以及高频下的带载能力,提高频率响应范围,设计了一种基于多单元级联的压电陶瓷执行器高压驱动电源.首先,基于分立元件构建直流放大式高精度驱动单元,并针对每个独立的驱动单元进行建模仿真,分析其在压电陶瓷等容性负载下的稳定性并采取了有效的双通道隔离反馈补偿策略.然后,利用多单元隔离浮地级联的方法,将多个独立的高精度驱动电源模块进行浮地级联,构成了一种组合式压电陶瓷高压驱动电源.实验结果表明,该级联驱动电源的输出幅值达0~1 000 V,最大输出功率为1 kW,满信号带宽为1 kHz/0.3 μF,纹波小于100 mV.根据实验结果,该级联驱动电源满足低纹波,高精度,大带宽,响应时间短,带载能力强等特性.
為瞭改善壓電陶瓷驅動電源在高電壓輸齣下的動態特性以及高頻下的帶載能力,提高頻率響應範圍,設計瞭一種基于多單元級聯的壓電陶瓷執行器高壓驅動電源.首先,基于分立元件構建直流放大式高精度驅動單元,併針對每箇獨立的驅動單元進行建模倣真,分析其在壓電陶瓷等容性負載下的穩定性併採取瞭有效的雙通道隔離反饋補償策略.然後,利用多單元隔離浮地級聯的方法,將多箇獨立的高精度驅動電源模塊進行浮地級聯,構成瞭一種組閤式壓電陶瓷高壓驅動電源.實驗結果錶明,該級聯驅動電源的輸齣幅值達0~1 000 V,最大輸齣功率為1 kW,滿信號帶寬為1 kHz/0.3 μF,紋波小于100 mV.根據實驗結果,該級聯驅動電源滿足低紋波,高精度,大帶寬,響應時間短,帶載能力彊等特性.
위료개선압전도자구동전원재고전압수출하적동태특성이급고빈하적대재능력,제고빈솔향응범위,설계료일충기우다단원급련적압전도자집행기고압구동전원.수선,기우분립원건구건직류방대식고정도구동단원,병침대매개독립적구동단원진행건모방진,분석기재압전도자등용성부재하적은정성병채취료유효적쌍통도격리반궤보상책략.연후,이용다단원격리부지급련적방법,장다개독립적고정도구동전원모괴진행부지급련,구성료일충조합식압전도자고압구동전원.실험결과표명,해급련구동전원적수출폭치체0~1 000 V,최대수출공솔위1 kW,만신호대관위1 kHz/0.3 μF,문파소우100 mV.근거실험결과,해급련구동전원만족저문파,고정도,대대관,향응시간단,대재능력강등특성.