功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2005年
2期
211-214
,共4页
石富文%孟祥键%王根水%林铁%李亚巍%马建华%孙兰%褚君浩
石富文%孟祥鍵%王根水%林鐵%李亞巍%馬建華%孫蘭%褚君浩
석부문%맹상건%왕근수%림철%리아외%마건화%손란%저군호
铁电薄膜%剩余极化%介电特性
鐵電薄膜%剩餘極化%介電特性
철전박막%잉여겁화%개전특성
采用Sol-gel方法在生长有LNO3的Si(100)衬底上制备了掺Mn的PbZr0.5Ti0.5O3铁电薄膜(PMZT).PMZT薄膜具有优良的铁电性.在外加电场下观察到了非对称剩余极化翻转行为.这种剩余极化的翻转不对称随着锰掺杂浓度的增加而变大,从而表明极化过程中产生的内建偏压电场是由Mn的掺杂引起的.当薄膜厚度保持不变时候,PMZT薄膜的剩余极化(Pr)和平均矫顽电场(Ec)随着锰掺杂浓度的增大而减小.在低频下,PMZT薄膜的介电常数随着锰的掺杂浓度的增加而减小.瞬时电流随着时间的呈指数衰减,最后到达饱和的稳态值.样品的漏电流密度随着电压的增加而近似地线性增加,显示出欧姆特性.在相同电压下,漏电流密度随着Mn掺杂浓度的增加而增加.
採用Sol-gel方法在生長有LNO3的Si(100)襯底上製備瞭摻Mn的PbZr0.5Ti0.5O3鐵電薄膜(PMZT).PMZT薄膜具有優良的鐵電性.在外加電場下觀察到瞭非對稱剩餘極化翻轉行為.這種剩餘極化的翻轉不對稱隨著錳摻雜濃度的增加而變大,從而錶明極化過程中產生的內建偏壓電場是由Mn的摻雜引起的.噹薄膜厚度保持不變時候,PMZT薄膜的剩餘極化(Pr)和平均矯頑電場(Ec)隨著錳摻雜濃度的增大而減小.在低頻下,PMZT薄膜的介電常數隨著錳的摻雜濃度的增加而減小.瞬時電流隨著時間的呈指數衰減,最後到達飽和的穩態值.樣品的漏電流密度隨著電壓的增加而近似地線性增加,顯示齣歐姆特性.在相同電壓下,漏電流密度隨著Mn摻雜濃度的增加而增加.
채용Sol-gel방법재생장유LNO3적Si(100)츤저상제비료참Mn적PbZr0.5Ti0.5O3철전박막(PMZT).PMZT박막구유우량적철전성.재외가전장하관찰도료비대칭잉여겁화번전행위.저충잉여겁화적번전불대칭수착맹참잡농도적증가이변대,종이표명겁화과정중산생적내건편압전장시유Mn적참잡인기적.당박막후도보지불변시후,PMZT박막적잉여겁화(Pr)화평균교완전장(Ec)수착맹참잡농도적증대이감소.재저빈하,PMZT박막적개전상수수착맹적참잡농도적증가이감소.순시전류수착시간적정지수쇠감,최후도체포화적은태치.양품적루전류밀도수착전압적증가이근사지선성증가,현시출구모특성.재상동전압하,루전류밀도수착Mn참잡농도적증가이증가.
