人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2006年
6期
1265-1267
,共3页
杨冬梅%韩建儒%袁春雪%姜付义
楊鼕梅%韓建儒%袁春雪%薑付義
양동매%한건유%원춘설%강부의
化学溶液分解法%SmBT0.5%铁电薄膜
化學溶液分解法%SmBT0.5%鐵電薄膜
화학용액분해법%SmBT0.5%철전박막
采用化学溶液分解法(CSD)在Si衬底上制备了Sm0.5Bi3.5Ti3O12 (SmBT0.5)薄膜.用X射线衍射技术分析了薄膜的结构和结晶性,用原子力显微镜描述了薄膜的表面形貌;并研究了薄膜的存储性以及介电性能.结果表明,在700℃下退火1h得到了结晶性较好,表面致密的多晶薄膜.该薄膜显示了良好铁电和介电性能.
採用化學溶液分解法(CSD)在Si襯底上製備瞭Sm0.5Bi3.5Ti3O12 (SmBT0.5)薄膜.用X射線衍射技術分析瞭薄膜的結構和結晶性,用原子力顯微鏡描述瞭薄膜的錶麵形貌;併研究瞭薄膜的存儲性以及介電性能.結果錶明,在700℃下退火1h得到瞭結晶性較好,錶麵緻密的多晶薄膜.該薄膜顯示瞭良好鐵電和介電性能.
채용화학용액분해법(CSD)재Si츤저상제비료Sm0.5Bi3.5Ti3O12 (SmBT0.5)박막.용X사선연사기술분석료박막적결구화결정성,용원자력현미경묘술료박막적표면형모;병연구료박막적존저성이급개전성능.결과표명,재700℃하퇴화1h득도료결정성교호,표면치밀적다정박막.해박막현시료량호철전화개전성능.
