光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2011年
4期
783-788
,共6页
静电驱动%悬臂梁谐振器%非线性%频率响应
靜電驅動%懸臂樑諧振器%非線性%頻率響應
정전구동%현비량해진기%비선성%빈솔향응
理论分析了亚微米尺寸的悬臂梁结构的非线性力学模型,研究了非线性产生的物理机制.采用外部静电激励机制,使悬臂梁谐振器产生谐振,借助Polytec激光多普勒测振系统检测了悬臂梁的频率响应曲线.测试结果表明,悬臂梁具有显著的非线性效应(即"弹簧变软"效应).实验证实了这种非线性效应几乎和交流电压无关,却随着直流电压的增大而显著增大,最大峰值偏移达到0.5 MHz.提取出3组-阶机械弹性系数分别为79.62,31.75和14.92 N/m,实验结果符合理论规律.对实验中的偏差做了进-步的分析和讨论,利用软件ANSYS对过腐蚀对结构刚度和频率响应的影响做了相应的模拟,结果和实验测量数据相吻合.
理論分析瞭亞微米呎吋的懸臂樑結構的非線性力學模型,研究瞭非線性產生的物理機製.採用外部靜電激勵機製,使懸臂樑諧振器產生諧振,藉助Polytec激光多普勒測振繫統檢測瞭懸臂樑的頻率響應麯線.測試結果錶明,懸臂樑具有顯著的非線性效應(即"彈簧變軟"效應).實驗證實瞭這種非線性效應幾乎和交流電壓無關,卻隨著直流電壓的增大而顯著增大,最大峰值偏移達到0.5 MHz.提取齣3組-階機械彈性繫數分彆為79.62,31.75和14.92 N/m,實驗結果符閤理論規律.對實驗中的偏差做瞭進-步的分析和討論,利用軟件ANSYS對過腐蝕對結構剛度和頻率響應的影響做瞭相應的模擬,結果和實驗測量數據相吻閤.
이론분석료아미미척촌적현비량결구적비선성역학모형,연구료비선성산생적물리궤제.채용외부정전격려궤제,사현비량해진기산생해진,차조Polytec격광다보륵측진계통검측료현비량적빈솔향응곡선.측시결과표명,현비량구유현저적비선성효응(즉"탄황변연"효응).실험증실료저충비선성효응궤호화교류전압무관,각수착직류전압적증대이현저증대,최대봉치편이체도0.5 MHz.제취출3조-계궤계탄성계수분별위79.62,31.75화14.92 N/m,실험결과부합이론규률.대실험중적편차주료진-보적분석화토론,이용연건ANSYS대과부식대결구강도화빈솔향응적영향주료상응적모의,결과화실험측량수거상문합.
