工具技术
工具技術
공구기술
TOOL ENGINEERING
2012年
2期
81-83
,共3页
位移传感器%光谱共焦%轴向色差%镜头设计
位移傳感器%光譜共焦%軸嚮色差%鏡頭設計
위이전감기%광보공초%축향색차%경두설계
光谱共焦位移传感器是一种高精度,非接触式位移传感器.本文讨论了光谱共焦法用于位移测量的基本原理,用Zemax光学设计软件完成了一个镜头组的设计,并给出了光谱共焦位移传感器镜头组的设计方法以及像差分析.该镜头组采用密接透镜结构,工作波段为486.13nm -656.27nm,测量范围约为91μm,轴向响应FWHM优于5 μm.通过线性回归分析得出波长与位移间判定系数为0.99523,在测量范围内,位移与波长间的线性关系较好.
光譜共焦位移傳感器是一種高精度,非接觸式位移傳感器.本文討論瞭光譜共焦法用于位移測量的基本原理,用Zemax光學設計軟件完成瞭一箇鏡頭組的設計,併給齣瞭光譜共焦位移傳感器鏡頭組的設計方法以及像差分析.該鏡頭組採用密接透鏡結構,工作波段為486.13nm -656.27nm,測量範圍約為91μm,軸嚮響應FWHM優于5 μm.通過線性迴歸分析得齣波長與位移間判定繫數為0.99523,在測量範圍內,位移與波長間的線性關繫較好.
광보공초위이전감기시일충고정도,비접촉식위이전감기.본문토론료광보공초법용우위이측량적기본원리,용Zemax광학설계연건완성료일개경두조적설계,병급출료광보공초위이전감기경두조적설계방법이급상차분석.해경두조채용밀접투경결구,공작파단위486.13nm -656.27nm,측량범위약위91μm,축향향응FWHM우우5 μm.통과선성회귀분석득출파장여위이간판정계수위0.99523,재측량범위내,위이여파장간적선성관계교호.
