天津师范大学学报（自然科学版）
天津師範大學學報（自然科學版）
천진사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF TIANJIN NORMAL UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2012年
3期
33-35
,共3页
氧化钛薄膜%磁控溅射%折射率%退火处理
氧化鈦薄膜%磁控濺射%摺射率%退火處理
양화태박막%자공천사%절사솔%퇴화처리
常温下采用反应磁控溅射法在K9双面抛光玻璃基底上沉积氧化钛薄膜,通过X射线衍射仪、光栅光谱仪和椭偏仪对氧化钛薄膜样品的光学和结构参数进行测试和分析.结果表明:溅射沉积的氧化钛纳米薄膜呈非晶态;其折射率和消光系数在可见光波段随波长的增大呈指数规律迅速变小,最终趋于一常数,氧化钛薄膜消光系数的平均值很小表明它在可见光波段是透明的;根据所得光学参数计算得到薄膜的透射率在350～800 nm光波范围内,与实验测量结果吻合;沉积的氧化钛薄膜样品经过450℃保温6h的退火热处理后,由非晶态转化为晶态.
常溫下採用反應磁控濺射法在K9雙麵拋光玻璃基底上沉積氧化鈦薄膜,通過X射線衍射儀、光柵光譜儀和橢偏儀對氧化鈦薄膜樣品的光學和結構參數進行測試和分析.結果錶明:濺射沉積的氧化鈦納米薄膜呈非晶態;其摺射率和消光繫數在可見光波段隨波長的增大呈指數規律迅速變小,最終趨于一常數,氧化鈦薄膜消光繫數的平均值很小錶明它在可見光波段是透明的;根據所得光學參數計算得到薄膜的透射率在350～800 nm光波範圍內,與實驗測量結果吻閤;沉積的氧化鈦薄膜樣品經過450℃保溫6h的退火熱處理後,由非晶態轉化為晶態.
상온하채용반응자공천사법재K9쌍면포광파리기저상침적양화태박막,통과X사선연사의、광책광보의화타편의대양화태박막양품적광학화결구삼수진행측시화분석.결과표명:천사침적적양화태납미박막정비정태;기절사솔화소광계수재가견광파단수파장적증대정지수규률신속변소,최종추우일상수,양화태박막소광계수적평균치흔소표명타재가견광파단시투명적;근거소득광학삼수계산득도박막적투사솔재350～800 nm광파범위내,여실험측량결과문합;침적적양화태박막양품경과450℃보온6h적퇴화열처리후,유비정태전화위정태.
