材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2012年
16期
35-37,46
,共4页
周艺%肖斌%黄燕%金井升%郭长春%欧衍聪
週藝%肖斌%黃燕%金井升%郭長春%歐衍聰
주예%초빈%황연%금정승%곽장춘%구연총
扩散%氧化层%少子寿命%太阳电池%多晶硅
擴散%氧化層%少子壽命%太暘電池%多晶硅
확산%양화층%소자수명%태양전지%다정규
重点研究了多晶硅扩散氧化层对电池性能的影响,并对大规模生产多晶硅扩散工艺进行了优化研究.采用少子寿命测试仪分析了扩散前后的硅片少子寿命,发现当扩散氧化时的干氧流量控制在2800sccm,扩散后的方块电阻控制在60～70Ω/□时,扩散后硅片少子寿命最高达到了10.45μs,与扩散前的硅片少子寿命相比延长了5倍多;此时的太阳电池并联电阻和短路电流分别高达40.4Q和8522mA,光电转换效率也由16.69％(干氧流量2000sccm)提高到了16.83％.此外,主要针对扩散氧化层对片内方阻均匀性及少子寿命的影响做了解释.
重點研究瞭多晶硅擴散氧化層對電池性能的影響,併對大規模生產多晶硅擴散工藝進行瞭優化研究.採用少子壽命測試儀分析瞭擴散前後的硅片少子壽命,髮現噹擴散氧化時的榦氧流量控製在2800sccm,擴散後的方塊電阻控製在60～70Ω/□時,擴散後硅片少子壽命最高達到瞭10.45μs,與擴散前的硅片少子壽命相比延長瞭5倍多;此時的太暘電池併聯電阻和短路電流分彆高達40.4Q和8522mA,光電轉換效率也由16.69％(榦氧流量2000sccm)提高到瞭16.83％.此外,主要針對擴散氧化層對片內方阻均勻性及少子壽命的影響做瞭解釋.
중점연구료다정규확산양화층대전지성능적영향,병대대규모생산다정규확산공예진행료우화연구.채용소자수명측시의분석료확산전후적규편소자수명,발현당확산양화시적간양류량공제재2800sccm,확산후적방괴전조공제재60～70Ω/□시,확산후규편소자수명최고체도료10.45μs,여확산전적규편소자수명상비연장료5배다;차시적태양전지병련전조화단로전류분별고체40.4Q화8522mA,광전전환효솔야유16.69％(간양류량2000sccm)제고도료16.83％.차외,주요침대확산양화층대편내방조균균성급소자수명적영향주료해석.
