自动化与仪表
自動化與儀錶
자동화여의표
AUTOMATION AND INSTRUMENTATION
2012年
3期
53-56
,共4页
扩散硅压力传感器%温度%非线性%误差补偿%满量程
擴散硅壓力傳感器%溫度%非線性%誤差補償%滿量程
확산규압력전감기%온도%비선성%오차보상%만량정
扩散硅压力传感器的传输特性受温度影响较大,必须采用某种手段将传感器的输入压力与温度进行解耦,从而实现对压力传感器输出的有效补偿,进而得到准确可靠的压力测量值.文中分析了一般扩散硅压力传感器的误差组成,针对误差提出了一个简单而又高精度的补偿模型,建立了有效算式,最后通过实例验证了算法的正确性,其精度可达到0.1％FS以下.
擴散硅壓力傳感器的傳輸特性受溫度影響較大,必鬚採用某種手段將傳感器的輸入壓力與溫度進行解耦,從而實現對壓力傳感器輸齣的有效補償,進而得到準確可靠的壓力測量值.文中分析瞭一般擴散硅壓力傳感器的誤差組成,針對誤差提齣瞭一箇簡單而又高精度的補償模型,建立瞭有效算式,最後通過實例驗證瞭算法的正確性,其精度可達到0.1％FS以下.
확산규압력전감기적전수특성수온도영향교대,필수채용모충수단장전감기적수입압력여온도진행해우,종이실현대압력전감기수출적유효보상,진이득도준학가고적압력측량치.문중분석료일반확산규압력전감기적오차조성,침대오차제출료일개간단이우고정도적보상모형,건립료유효산식,최후통과실례험증료산법적정학성,기정도가체도0.1％FS이하.
