全面腐蚀控制
全麵腐蝕控製
전면부식공제
TOTAL CORROSION CONTROL
2011年
10期
13-17
,共5页
等离子%磁控溅射%超强硬%纳米涂层%防腐%磨蚀
等離子%磁控濺射%超彊硬%納米塗層%防腐%磨蝕
등리자%자공천사%초강경%납미도층%방부%마식
本文介绍了等离子增强磁控溅射技术(PEMS)的基本原理,以及利用该技术所开发的纳米复合结构涂层,这种涂层的微观结构为纳米颗粒的复合材料-TiSiCN涂层,该涂层具有非常高的表面硬度,具有极好的防腐耐磨性能,同时该涂层的厚度可达560μm,且具有非常好的附着力和柔韧性,不易从基材脱落及脆裂.利用等离子增强磁控溅射技术沉积的纳米复合结构涂层性能良好,具有非常广泛的应用前景.
本文介紹瞭等離子增彊磁控濺射技術(PEMS)的基本原理,以及利用該技術所開髮的納米複閤結構塗層,這種塗層的微觀結構為納米顆粒的複閤材料-TiSiCN塗層,該塗層具有非常高的錶麵硬度,具有極好的防腐耐磨性能,同時該塗層的厚度可達560μm,且具有非常好的附著力和柔韌性,不易從基材脫落及脆裂.利用等離子增彊磁控濺射技術沉積的納米複閤結構塗層性能良好,具有非常廣汎的應用前景.
본문개소료등리자증강자공천사기술(PEMS)적기본원리,이급이용해기술소개발적납미복합결구도층,저충도층적미관결구위납미과립적복합재료-TiSiCN도층,해도층구유비상고적표면경도,구유겁호적방부내마성능,동시해도층적후도가체560μm,차구유비상호적부착력화유인성,불역종기재탈락급취렬.이용등리자증강자공천사기술침적적납미복합결구도층성능량호,구유비상엄범적응용전경.
