金刚石与磨料磨具工程
金剛石與磨料磨具工程
금강석여마료마구공정
DIAMOND & ABRASIVES ENGINNERING
2011年
5期
5-9
,共5页
湛玉龙%马志斌%翁国峰%吴建鹏
湛玉龍%馬誌斌%翁國峰%吳建鵬
담옥룡%마지빈%옹국봉%오건붕
金刚石厚膜%内应力%sp2C含量
金剛石厚膜%內應力%sp2C含量
금강석후막%내응력%sp2C함량
采用MPCVD法在钼基体上制备金刚石厚膜,测量了等离子体发射光谱,并利用XPS、Raman和SEM对金刚石厚膜进行表征.研究了Mo原子进入金刚石中的机制及其对金刚石厚膜的影响.结果表明:除了热扩散,Mo原子还会以蒸发进入等离子体的方式进入金刚石.金刚石中的Mo原子是以Mo+4、Mo+6以及介于Mo+4-Mo+6之间的化合态存在.在沿成核面到生长面的方向上,sp2C的含量会逐渐减小;成核面的内应力表现为较小的拉应力,随着生长进入连续膜生长阶段,内应力转变为压应力并随膜厚度增加压应力大小逐渐降低,在距离成核面30 μm左右处,内应力转变为拉应力,且随着膜厚度进一步增加而缓慢增大.
採用MPCVD法在鉬基體上製備金剛石厚膜,測量瞭等離子體髮射光譜,併利用XPS、Raman和SEM對金剛石厚膜進行錶徵.研究瞭Mo原子進入金剛石中的機製及其對金剛石厚膜的影響.結果錶明:除瞭熱擴散,Mo原子還會以蒸髮進入等離子體的方式進入金剛石.金剛石中的Mo原子是以Mo+4、Mo+6以及介于Mo+4-Mo+6之間的化閤態存在.在沿成覈麵到生長麵的方嚮上,sp2C的含量會逐漸減小;成覈麵的內應力錶現為較小的拉應力,隨著生長進入連續膜生長階段,內應力轉變為壓應力併隨膜厚度增加壓應力大小逐漸降低,在距離成覈麵30 μm左右處,內應力轉變為拉應力,且隨著膜厚度進一步增加而緩慢增大.
채용MPCVD법재목기체상제비금강석후막,측량료등리자체발사광보,병이용XPS、Raman화SEM대금강석후막진행표정.연구료Mo원자진입금강석중적궤제급기대금강석후막적영향.결과표명:제료열확산,Mo원자환회이증발진입등리자체적방식진입금강석.금강석중적Mo원자시이Mo+4、Mo+6이급개우Mo+4-Mo+6지간적화합태존재.재연성핵면도생장면적방향상,sp2C적함량회축점감소;성핵면적내응력표현위교소적랍응력,수착생장진입련속막생장계단,내응력전변위압응력병수막후도증가압응력대소축점강저,재거리성핵면30 μm좌우처,내응력전변위랍응력,차수착막후도진일보증가이완만증대.
