计量技术
計量技術
계량기술
MEASUREMENT TECHNIQUE
2010年
11期
41-43
,共3页
量块比较仪%等厚干涉%定标%机器视觉
量塊比較儀%等厚榦涉%定標%機器視覺
량괴비교의%등후간섭%정표%궤기시각
根据等厚干涉光强分布规律,从频域的角度介绍了干涉式量块比较仪的定标方法.用CCD采集单色光等厚干涉图像,计算机对图像作傅立叶变换并提取主频信息,通过简单运算完成比较仪的自动化定标.根据定标结果,成功开发出量块比较仪机器视觉自动化读数系统,该系统示值误差δ=0.024μm.
根據等厚榦涉光彊分佈規律,從頻域的角度介紹瞭榦涉式量塊比較儀的定標方法.用CCD採集單色光等厚榦涉圖像,計算機對圖像作傅立葉變換併提取主頻信息,通過簡單運算完成比較儀的自動化定標.根據定標結果,成功開髮齣量塊比較儀機器視覺自動化讀數繫統,該繫統示值誤差δ=0.024μm.
근거등후간섭광강분포규률,종빈역적각도개소료간섭식량괴비교의적정표방법.용CCD채집단색광등후간섭도상,계산궤대도상작부립협변환병제취주빈신식,통과간단운산완성비교의적자동화정표.근거정표결과,성공개발출량괴비교의궤기시각자동화독수계통,해계통시치오차δ=0.024μm.
