上海金属
上海金屬
상해금속
SHANGHAI METALS
2009年
6期
28-31
,共4页
周磊%尹桂林%王玉东%余震%何丹农
週磊%尹桂林%王玉東%餘震%何丹農
주뢰%윤계림%왕옥동%여진%하단농
WS2/MoS2/C复合薄膜%磁控溅射%磨损性能
WS2/MoS2/C複閤薄膜%磁控濺射%磨損性能
WS2/MoS2/C복합박막%자공천사%마손성능
采用磁控溅射法,使用WS2/MoS2复合靶材,通过与乙炔气体反应溅射,制备WS2/MoS2/C复合薄膜,利用X射线衍射对薄膜的成分结构进行分析,采用MFT-4000 材料表面性能试验仪在室温大气环境(相对湿度60%)下评价薄膜的摩擦磨损性能,使用Axio CSM 700共聚焦显微镜观察WS2/MoS2/C复合薄膜磨损表面磨痕形貌,结果表明,WS2/MoS2/C复合薄膜结构致密,在潮湿大气中抗磨损性能比MoS2磁控溅射薄膜有显著提高,在30min往复摩擦后复合薄膜未发生磨屑脱落.
採用磁控濺射法,使用WS2/MoS2複閤靶材,通過與乙炔氣體反應濺射,製備WS2/MoS2/C複閤薄膜,利用X射線衍射對薄膜的成分結構進行分析,採用MFT-4000 材料錶麵性能試驗儀在室溫大氣環境(相對濕度60%)下評價薄膜的摩抆磨損性能,使用Axio CSM 700共聚焦顯微鏡觀察WS2/MoS2/C複閤薄膜磨損錶麵磨痕形貌,結果錶明,WS2/MoS2/C複閤薄膜結構緻密,在潮濕大氣中抗磨損性能比MoS2磁控濺射薄膜有顯著提高,在30min往複摩抆後複閤薄膜未髮生磨屑脫落.
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