天津大学学报
天津大學學報
천진대학학보
JOURNAL OF TIANJIN UNIVERSITY SCIENCE AND TECHNOLOGY
2009年
8期
721-726
,共6页
梁继然%胡明%陈涛%刘志刚
樑繼然%鬍明%陳濤%劉誌剛
량계연%호명%진도%류지강
直流对向靶磁控溅射%纳米氧化钒薄膜%热氧化处理
直流對嚮靶磁控濺射%納米氧化釩薄膜%熱氧化處理
직류대향파자공천사%납미양화범박막%열양화처리
,阻碍氧与低价态氧化钒的进一步反应,薄膜内VO2组分含量的改变量不大;增加热处理时间后,薄膜内VO2组分的含量明显增加,相变幅度超过2个数量级.
,阻礙氧與低價態氧化釩的進一步反應,薄膜內VO2組分含量的改變量不大;增加熱處理時間後,薄膜內VO2組分的含量明顯增加,相變幅度超過2箇數量級.
,조애양여저개태양화범적진일보반응,박막내VO2조분함량적개변량불대;증가열처리시간후,박막내VO2조분적함량명현증가,상변폭도초과2개수량급.
