仪器仪表学报
儀器儀錶學報
의기의표학보
CHINESE JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENT
2009年
6期
1266-1270
,共5页
刘文文%余晓芬%余卿%毕美华
劉文文%餘曉芬%餘卿%畢美華
류문문%여효분%여경%필미화
并行共聚焦%3-D点扩散函数%显微%远心%微结构
併行共聚焦%3-D點擴散函數%顯微%遠心%微結構
병행공취초%3-D점확산함수%현미%원심%미결구
基于菲涅尔衍射理论推导并行共聚焦系统的两种常用光路(显微与远心)的三维相干成像公式,发现两者在傍轴近似条件下并行探测能力没有明显区别,并且这一结果得到了实验证实.但是显微光路离轴探测光场在物面和图像面存在横向漂移,漂移随着离轴和离焦程度增加而增加.干扰了系统的轴向探测能力并且使正焦辨识过程复杂化,影响系统的测量效率;远心光路由于不存在探测光场的横向漂移,以及较好的结构可靠性使系统精度易于保证,应该成为构建并行共聚焦微结构探测系统的首选.
基于菲涅爾衍射理論推導併行共聚焦繫統的兩種常用光路(顯微與遠心)的三維相榦成像公式,髮現兩者在傍軸近似條件下併行探測能力沒有明顯區彆,併且這一結果得到瞭實驗證實.但是顯微光路離軸探測光場在物麵和圖像麵存在橫嚮漂移,漂移隨著離軸和離焦程度增加而增加.榦擾瞭繫統的軸嚮探測能力併且使正焦辨識過程複雜化,影響繫統的測量效率;遠心光路由于不存在探測光場的橫嚮漂移,以及較好的結構可靠性使繫統精度易于保證,應該成為構建併行共聚焦微結構探測繫統的首選.
기우비열이연사이론추도병행공취초계통적량충상용광로(현미여원심)적삼유상간성상공식,발현량자재방축근사조건하병행탐측능력몰유명현구별,병차저일결과득도료실험증실.단시현미광로리축탐측광장재물면화도상면존재횡향표이,표이수착리축화리초정도증가이증가.간우료계통적축향탐측능력병차사정초변식과정복잡화,영향계통적측량효솔;원심광로유우불존재탐측광장적횡향표이,이급교호적결구가고성사계통정도역우보증,응해성위구건병행공취초미결구탐측계통적수선.
