太阳能
太暘能
태양능
SOLAR ENERGY
2009年
1期
34-35
,共2页
李东升%俞东雷%冯明%龚小雷%钱海龙
李東升%俞東雷%馮明%龔小雷%錢海龍
리동승%유동뢰%풍명%공소뢰%전해룡
三氯氧磷%供应系统
三氯氧燐%供應繫統
삼록양린%공응계통
介绍了一种新型的三氯氧磷集中供应装置.该装置通过对不锈钢表面化学气相沉积处理,实现了防腐功能.同时采用全自动集中供应方式,确保了硅太阳电池扩散炉生产中的安全和纯度控制.
介紹瞭一種新型的三氯氧燐集中供應裝置.該裝置通過對不鏽鋼錶麵化學氣相沉積處理,實現瞭防腐功能.同時採用全自動集中供應方式,確保瞭硅太暘電池擴散爐生產中的安全和純度控製.
개소료일충신형적삼록양린집중공응장치.해장치통과대불수강표면화학기상침적처리,실현료방부공능.동시채용전자동집중공응방식,학보료규태양전지확산로생산중적안전화순도공제.
