无机材料学报
無機材料學報
무궤재료학보
JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS
2009年
1期
49-52
,共4页
曹逊%李效民%于伟东%张亦文
曹遜%李效民%于偉東%張亦文
조손%리효민%우위동%장역문
脉冲激光沉积法%单极性%电阻转变特性%TiO2薄膜
脈遲激光沉積法%單極性%電阻轉變特性%TiO2薄膜
맥충격광침적법%단겁성%전조전변특성%TiO2박막
采用脉冲激光沉积法(PLD),以Pt(111)/Ti/SiO2/Si为衬底,制备了具有电阻转变特性的TiO2薄膜.X射线衍射(XRD)分析未发现明显的TiO2结晶峰,薄膜呈纳米晶或非晶态.扫描电子显微镜(SEM)及原子力显微镜(AFM)分析表明,TiO2薄膜表面平整、光滑致密.电学测试结果表明,TiO2薄膜具有明显的单极性电阻转变特性,高低阻态比值达到104.高阻态下薄膜的导电过程可用空间电荷限制电流模型解释,过程中存在软击穿现象.在此基础上,对薄膜中丝导电通道的产生及熔断过程进行了初步分析.
採用脈遲激光沉積法(PLD),以Pt(111)/Ti/SiO2/Si為襯底,製備瞭具有電阻轉變特性的TiO2薄膜.X射線衍射(XRD)分析未髮現明顯的TiO2結晶峰,薄膜呈納米晶或非晶態.掃描電子顯微鏡(SEM)及原子力顯微鏡(AFM)分析錶明,TiO2薄膜錶麵平整、光滑緻密.電學測試結果錶明,TiO2薄膜具有明顯的單極性電阻轉變特性,高低阻態比值達到104.高阻態下薄膜的導電過程可用空間電荷限製電流模型解釋,過程中存在軟擊穿現象.在此基礎上,對薄膜中絲導電通道的產生及鎔斷過程進行瞭初步分析.
채용맥충격광침적법(PLD),이Pt(111)/Ti/SiO2/Si위츤저,제비료구유전조전변특성적TiO2박막.X사선연사(XRD)분석미발현명현적TiO2결정봉,박막정납미정혹비정태.소묘전자현미경(SEM)급원자력현미경(AFM)분석표명,TiO2박막표면평정、광활치밀.전학측시결과표명,TiO2박막구유명현적단겁성전조전변특성,고저조태비치체도104.고조태하박막적도전과정가용공간전하한제전류모형해석,과정중존재연격천현상.재차기출상,대박막중사도전통도적산생급용단과정진행료초보분석.
