机械与电子
機械與電子
궤계여전자
MACHINERY & ELECTRONICS
2008年
10期
69-71
,共3页
钟健%许兴智%史淑华%张一钢%李岩
鐘健%許興智%史淑華%張一鋼%李巖
종건%허흥지%사숙화%장일강%리암
钢带光栅%大量程%激光光电扫描器%传感器
鋼帶光柵%大量程%激光光電掃描器%傳感器
강대광책%대량정%격광광전소묘기%전감기
研制了一种新型的密封式超长精密钢带光栅线位移传感器.该传感器采用了反射式精密超长计量钢带光栅尺作为测量基准尺,实现了大量程,并且依据激光光电扫描器拾取光栅莫尔条纹光电信号,提高了光栅付工作间隙量和测量的精度.实验的结果表明:传感器量程为3 m,10 m,50 m时,其测量精度可以达到±5 μm/m,±10 μm/m,±20μm/m.
研製瞭一種新型的密封式超長精密鋼帶光柵線位移傳感器.該傳感器採用瞭反射式精密超長計量鋼帶光柵呎作為測量基準呎,實現瞭大量程,併且依據激光光電掃描器拾取光柵莫爾條紋光電信號,提高瞭光柵付工作間隙量和測量的精度.實驗的結果錶明:傳感器量程為3 m,10 m,50 m時,其測量精度可以達到±5 μm/m,±10 μm/m,±20μm/m.
연제료일충신형적밀봉식초장정밀강대광책선위이전감기.해전감기채용료반사식정밀초장계량강대광책척작위측량기준척,실현료대량정,병차의거격광광전소묘기습취광책막이조문광전신호,제고료광책부공작간극량화측량적정도.실험적결과표명:전감기량정위3 m,10 m,50 m시,기측량정도가이체도±5 μm/m,±10 μm/m,±20μm/m.
