电子器件
電子器件
전자기건
JOURNAL OF ELECTRON DEVICES
2007年
6期
1981-1984
,共4页
黄钦文%吴军%陈大鹏%陈永胜%叶甜春
黃欽文%吳軍%陳大鵬%陳永勝%葉甜春
황흠문%오군%진대붕%진영성%협첨춘
碳纳米管%吸附%氧化%气体传感器%化学气相淀积
碳納米管%吸附%氧化%氣體傳感器%化學氣相澱積
탄납미관%흡부%양화%기체전감기%화학기상정적
碳纳米管暴露在空气中会引起其电子特性的改变.使用微电子工艺在硅衬底上制备出生长碳纳米管的阵列图形,使用热CVD法实现碳纳米管在硅平面上的定点生长.研究了不同温度下空气氛围对多壁碳纳米管电子特性的影响.实验结果表明,空气中的水分子和氧气都会影响碳纳米管的电子特性.在室温环境中,水分子对碳纳米管电子特性的影响起主要作用,随着环境温度的升高,氧气对碳纳米管电学性质的变化起主要作用.
碳納米管暴露在空氣中會引起其電子特性的改變.使用微電子工藝在硅襯底上製備齣生長碳納米管的陣列圖形,使用熱CVD法實現碳納米管在硅平麵上的定點生長.研究瞭不同溫度下空氣氛圍對多壁碳納米管電子特性的影響.實驗結果錶明,空氣中的水分子和氧氣都會影響碳納米管的電子特性.在室溫環境中,水分子對碳納米管電子特性的影響起主要作用,隨著環境溫度的升高,氧氣對碳納米管電學性質的變化起主要作用.
탄납미관폭로재공기중회인기기전자특성적개변.사용미전자공예재규츤저상제비출생장탄납미관적진렬도형,사용열CVD법실현탄납미관재규평면상적정점생장.연구료불동온도하공기분위대다벽탄납미관전자특성적영향.실험결과표명,공기중적수분자화양기도회영향탄납미관적전자특성.재실온배경중,수분자대탄납미관전자특성적영향기주요작용,수착배경온도적승고,양기대탄납미관전학성질적변화기주요작용.
