光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2008年
1期
42-47
,共6页
王丽辉%何玲平%王孝坤%尼启良%陈波
王麗輝%何玲平%王孝坤%尼啟良%陳波
왕려휘%하령평%왕효곤%니계량%진파
EUV滤光片%线性吸收系数%反射比%透过率%单色仪
EUV濾光片%線性吸收繫數%反射比%透過率%單色儀
EUV려광편%선성흡수계수%반사비%투과솔%단색의
多层膜反射镜是30.4 nm正入射望远镜的主要反射元件,但它在紫外、可见和近红外光波段也具有很高的反射率,需要滤光片来消除这些长波辐射,而滤光片材料和膜层厚度对滤光片的性能起重要作用.根据原子散射因子,理论计算出几种材料波长和线性吸收系数之间的关系,确认铝是30.4 nm波段滤光片的最好材料.在考虑透过率和膜强度的基础上,确定了滤光片的膜层厚度.改进了现有的由Mcpherson 247掠入射软X射线-真空紫外单色仪和气体空心阴极光源组成的光谱测量装置,使其适合于透过率的测量,其波长扫描精度为±0.017～±0.097 nm,对所制备的铝滤光片进行25.6～1 000 nm波段的透过率测量,测量结果显示其在30.4 nm 处的透过率为58.85%.为了比较全面地反映该种滤光片的透过率情况,又测量了它在紫外、可见和近红外波段的透过率,其值接近零,证明了该滤光片可满足30.4 nm成像系统的需要.
多層膜反射鏡是30.4 nm正入射望遠鏡的主要反射元件,但它在紫外、可見和近紅外光波段也具有很高的反射率,需要濾光片來消除這些長波輻射,而濾光片材料和膜層厚度對濾光片的性能起重要作用.根據原子散射因子,理論計算齣幾種材料波長和線性吸收繫數之間的關繫,確認鋁是30.4 nm波段濾光片的最好材料.在攷慮透過率和膜彊度的基礎上,確定瞭濾光片的膜層厚度.改進瞭現有的由Mcpherson 247掠入射軟X射線-真空紫外單色儀和氣體空心陰極光源組成的光譜測量裝置,使其適閤于透過率的測量,其波長掃描精度為±0.017～±0.097 nm,對所製備的鋁濾光片進行25.6～1 000 nm波段的透過率測量,測量結果顯示其在30.4 nm 處的透過率為58.85%.為瞭比較全麵地反映該種濾光片的透過率情況,又測量瞭它在紫外、可見和近紅外波段的透過率,其值接近零,證明瞭該濾光片可滿足30.4 nm成像繫統的需要.
다층막반사경시30.4 nm정입사망원경적주요반사원건,단타재자외、가견화근홍외광파단야구유흔고적반사솔,수요려광편래소제저사장파복사,이려광편재료화막층후도대려광편적성능기중요작용.근거원자산사인자,이론계산출궤충재료파장화선성흡수계수지간적관계,학인려시30.4 nm파단려광편적최호재료.재고필투과솔화막강도적기출상,학정료려광편적막층후도.개진료현유적유Mcpherson 247략입사연X사선-진공자외단색의화기체공심음겁광원조성적광보측량장치,사기괄합우투과솔적측량,기파장소묘정도위±0.017～±0.097 nm,대소제비적려려광편진행25.6～1 000 nm파단적투과솔측량,측량결과현시기재30.4 nm 처적투과솔위58.85%.위료비교전면지반영해충려광편적투과솔정황,우측량료타재자외、가견화근홍외파단적투과솔,기치접근령,증명료해려광편가만족30.4 nm성상계통적수요.
