传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2007年
11期
10-12,16
,共4页
谐振%微机电系统%磁强计%电容检测
諧振%微機電繫統%磁彊計%電容檢測
해진%미궤전계통%자강계%전용검측
介绍了谐振式MEMS磁强计的基本原理、特点和应用领域,总结了目前谐振式磁强计方面的研究成果,给出了其技术指标和参数,分析、比较了垂直式和水平式两类谐振式MEMS磁强计的特点和优势.阐述了谐振式磁强计的驱动、信号检测及控制方式,分析了谐振式磁强计的发展趋势,指出通过合理的结构、工艺设计及提高检测精度来进一步提高器件的分辨力将是谐振式磁强计发展的主要方向.
介紹瞭諧振式MEMS磁彊計的基本原理、特點和應用領域,總結瞭目前諧振式磁彊計方麵的研究成果,給齣瞭其技術指標和參數,分析、比較瞭垂直式和水平式兩類諧振式MEMS磁彊計的特點和優勢.闡述瞭諧振式磁彊計的驅動、信號檢測及控製方式,分析瞭諧振式磁彊計的髮展趨勢,指齣通過閤理的結構、工藝設計及提高檢測精度來進一步提高器件的分辨力將是諧振式磁彊計髮展的主要方嚮.
개소료해진식MEMS자강계적기본원리、특점화응용영역,총결료목전해진식자강계방면적연구성과,급출료기기술지표화삼수,분석、비교료수직식화수평식량류해진식MEMS자강계적특점화우세.천술료해진식자강계적구동、신호검측급공제방식,분석료해진식자강계적발전추세,지출통과합리적결구、공예설계급제고검측정도래진일보제고기건적분변력장시해진식자강계발전적주요방향.
