光子学报
光子學報
광자학보
ACTA PHOTONICA SINICA
2007年
11期
2053-2056
,共4页
宫兴致%陈燕平%刘玉玲%余飞鸿
宮興緻%陳燕平%劉玉玲%餘飛鴻
궁흥치%진연평%류옥령%여비홍
薄膜参量测量%遗传算法%非接触测量%全局优化算法
薄膜參量測量%遺傳算法%非接觸測量%全跼優化算法
박막삼량측량%유전산법%비접촉측량%전국우화산법
利用遗传算法,将光学常量作为参量建立全局优化模型.通过遗传变异进行迭代计算从而优化解.它不但避免了接触式测量对样品的破坏,而且相对于其它算法简单清晰,在保证准确度的同时,具有良好的稳定性.实验结果与理想模型误差在1 nm以内,实际样品与台阶仪的测量结果误差控制在20 nm以内.
利用遺傳算法,將光學常量作為參量建立全跼優化模型.通過遺傳變異進行迭代計算從而優化解.它不但避免瞭接觸式測量對樣品的破壞,而且相對于其它算法簡單清晰,在保證準確度的同時,具有良好的穩定性.實驗結果與理想模型誤差在1 nm以內,實際樣品與檯階儀的測量結果誤差控製在20 nm以內.
이용유전산법,장광학상량작위삼량건립전국우화모형.통과유전변이진행질대계산종이우화해.타불단피면료접촉식측량대양품적파배,이차상대우기타산법간단청석,재보증준학도적동시,구유량호적은정성.실험결과여이상모형오차재1 nm이내,실제양품여태계의적측량결과오차공제재20 nm이내.
