真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2007年
5期
386-390
,共5页
周立勋%朱俊%黄文%张鹰%李言荣%罗文博
週立勛%硃俊%黃文%張鷹%李言榮%囉文博
주립훈%주준%황문%장응%리언영%라문박
磁电薄膜%界面应力%RHEED%生长模式
磁電薄膜%界麵應力%RHEED%生長模式
자전박막%계면응력%RHEED%생장모식
用激光分子束外延(LMBE)设备,在SrTiO3(001)基片上外延生长BaTiO3/CoFe2O4/BaTiO3多层复合磁电薄膜结构.通过反射式高能电子衍射(RHEED)对薄膜生长过程进行原位监测,结果显示,随着CoFe2O4厚度的增加薄膜内应力逐渐被释放,并且应力释放的过程导致了薄膜生长模式的变化.高分辨X射线衍射(XRD)发现,随着CoFe2O4厚度的增加,CoFe2O4对BaTiO3薄膜的张应力逐渐增大,BaTiO3晶胞的c轴晶格常数逐渐变小.理论计算给出了BaTiO3面外晶格常数c随CoFe2O4沉积时间的变化规律.原子力显微镜(AFM)对表面形貌进行表征,进一步证明了复合薄膜生长模式的变化.
用激光分子束外延(LMBE)設備,在SrTiO3(001)基片上外延生長BaTiO3/CoFe2O4/BaTiO3多層複閤磁電薄膜結構.通過反射式高能電子衍射(RHEED)對薄膜生長過程進行原位鑑測,結果顯示,隨著CoFe2O4厚度的增加薄膜內應力逐漸被釋放,併且應力釋放的過程導緻瞭薄膜生長模式的變化.高分辨X射線衍射(XRD)髮現,隨著CoFe2O4厚度的增加,CoFe2O4對BaTiO3薄膜的張應力逐漸增大,BaTiO3晶胞的c軸晶格常數逐漸變小.理論計算給齣瞭BaTiO3麵外晶格常數c隨CoFe2O4沉積時間的變化規律.原子力顯微鏡(AFM)對錶麵形貌進行錶徵,進一步證明瞭複閤薄膜生長模式的變化.
용격광분자속외연(LMBE)설비,재SrTiO3(001)기편상외연생장BaTiO3/CoFe2O4/BaTiO3다층복합자전박막결구.통과반사식고능전자연사(RHEED)대박막생장과정진행원위감측,결과현시,수착CoFe2O4후도적증가박막내응력축점피석방,병차응력석방적과정도치료박막생장모식적변화.고분변X사선연사(XRD)발현,수착CoFe2O4후도적증가,CoFe2O4대BaTiO3박막적장응력축점증대,BaTiO3정포적c축정격상수축점변소.이론계산급출료BaTiO3면외정격상수c수CoFe2O4침적시간적변화규률.원자력현미경(AFM)대표면형모진행표정,진일보증명료복합박막생장모식적변화.
