南昌大学学报（理科版）
南昌大學學報（理科版）
남창대학학보（이과판）
JOURNAL OF NANCHANG UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)
2007年
4期
380-383
,共4页
张景基%赖珍荃%王震东%李新曦%钟双英%范定寰%黄志明
張景基%賴珍荃%王震東%李新晞%鐘雙英%範定寰%黃誌明
장경기%뢰진전%왕진동%리신희%종쌍영%범정환%황지명
射频磁控溅射%PZT铁电薄膜%快速热退火处理
射頻磁控濺射%PZT鐵電薄膜%快速熱退火處理
사빈자공천사%PZT철전박막%쾌속열퇴화처리
采用射频磁控溅射(RF Magnetron Sputtering)工艺在Si片上分别制备Pt/Ti和LaNiO3 (LNO)底电极,然后在不同的底电极上沉积PbZr0.52Ti0.48O3(PZT)铁电薄膜,在大气环境中对沉积的PZT薄膜进行快速热退火处理(RTA).用X射线衍射(XRD)分析PZT薄膜的相结构和结晶取向,原子力显微镜(AFM)分析薄膜的表面形貌和微结构.再沉积LNO作为顶电极制成"三明治"结构的LNO/PZT/Pt和LNO/PZT/LNO样品,用 RT66A标准铁电测试系统分析样品的电学特性,傅立叶红外光谱仪分别测得样品的反射谱和透射谱.分析了不同电极对PZT铁电薄膜的铁电和光学性能的影响.
採用射頻磁控濺射(RF Magnetron Sputtering)工藝在Si片上分彆製備Pt/Ti和LaNiO3 (LNO)底電極,然後在不同的底電極上沉積PbZr0.52Ti0.48O3(PZT)鐵電薄膜,在大氣環境中對沉積的PZT薄膜進行快速熱退火處理(RTA).用X射線衍射(XRD)分析PZT薄膜的相結構和結晶取嚮,原子力顯微鏡(AFM)分析薄膜的錶麵形貌和微結構.再沉積LNO作為頂電極製成"三明治"結構的LNO/PZT/Pt和LNO/PZT/LNO樣品,用 RT66A標準鐵電測試繫統分析樣品的電學特性,傅立葉紅外光譜儀分彆測得樣品的反射譜和透射譜.分析瞭不同電極對PZT鐵電薄膜的鐵電和光學性能的影響.
채용사빈자공천사(RF Magnetron Sputtering)공예재Si편상분별제비Pt/Ti화LaNiO3 (LNO)저전겁,연후재불동적저전겁상침적PbZr0.52Ti0.48O3(PZT)철전박막,재대기배경중대침적적PZT박막진행쾌속열퇴화처리(RTA).용X사선연사(XRD)분석PZT박막적상결구화결정취향,원자력현미경(AFM)분석박막적표면형모화미결구.재침적LNO작위정전겁제성"삼명치"결구적LNO/PZT/Pt화LNO/PZT/LNO양품,용 RT66A표준철전측시계통분석양품적전학특성,부립협홍외광보의분별측득양품적반사보화투사보.분석료불동전겁대PZT철전박막적철전화광학성능적영향.
