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현대현시
ADVANCED DISPLAY
2007年
10期
41-44
,共4页
郑载润%郑云友%侯智%李正勳%李斗熙
鄭載潤%鄭雲友%侯智%李正勳%李鬥熙
정재윤%정운우%후지%리정훈%리두희
离子刻蚀%干法刻蚀%灰化速率%光谱
離子刻蝕%榦法刻蝕%灰化速率%光譜
리자각식%간법각식%회화속솔%광보
以O2+SF6为刻蚀气体,在一定压力下使用RIE刻蚀机刻蚀光刻胶.通过改变功率、O2流量和SF6流量,研究以上因素的改变对光刻胶灰化速率的影响.实验结果表明:单组分O2存在下,O2流量的增加不会影响光刻胶的灰化速率.设备Plasma功率以及气体比率变化对灰化率有显著影响,并通过光谱分析对光刻胶的灰化反应机理进行了初步研究.
以O2+SF6為刻蝕氣體,在一定壓力下使用RIE刻蝕機刻蝕光刻膠.通過改變功率、O2流量和SF6流量,研究以上因素的改變對光刻膠灰化速率的影響.實驗結果錶明:單組分O2存在下,O2流量的增加不會影響光刻膠的灰化速率.設備Plasma功率以及氣體比率變化對灰化率有顯著影響,併通過光譜分析對光刻膠的灰化反應機理進行瞭初步研究.
이O2+SF6위각식기체,재일정압력하사용RIE각식궤각식광각효.통과개변공솔、O2류량화SF6류량,연구이상인소적개변대광각효회화속솔적영향.실험결과표명:단조분O2존재하,O2류량적증가불회영향광각효적회화속솔.설비Plasma공솔이급기체비솔변화대회화솔유현저영향,병통과광보분석대광각효적회화반응궤리진행료초보연구.
