华东师范大学学报（自然科学版）
華東師範大學學報（自然科學版）
화동사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF EAST CHINA NORMAL UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)
2007年
5期
118-122,140
,共6页
张永华%刘蕾%丁桂甫%蔡炳初%赖宗声
張永華%劉蕾%丁桂甫%蔡炳初%賴宗聲
장영화%류뢰%정계보%채병초%뢰종성
微电子机械系统%射频开关%双稳态%动态测量
微電子機械繫統%射頻開關%雙穩態%動態測量
미전자궤계계통%사빈개관%쌍은태%동태측량
一种基于UV-LIGA加工技术的双稳态电磁型RF MEMS开关,由于其结构使用了永磁体单元而使得开关在维持"开"或"关"态时不需要功耗,从而实现低功耗的电磁驱动.利用非接触式Wyko NT1 100光学轮廓仪所附带的动态测量系统(DMEMS),对开关的动态响应进行了测量.测量结果表明开关实现了双稳态驱动,开关实现状态完全切换到位对应的响应时间不到20 μs.
一種基于UV-LIGA加工技術的雙穩態電磁型RF MEMS開關,由于其結構使用瞭永磁體單元而使得開關在維持"開"或"關"態時不需要功耗,從而實現低功耗的電磁驅動.利用非接觸式Wyko NT1 100光學輪廓儀所附帶的動態測量繫統(DMEMS),對開關的動態響應進行瞭測量.測量結果錶明開關實現瞭雙穩態驅動,開關實現狀態完全切換到位對應的響應時間不到20 μs.
일충기우UV-LIGA가공기술적쌍은태전자형RF MEMS개관,유우기결구사용료영자체단원이사득개관재유지"개"혹"관"태시불수요공모,종이실현저공모적전자구동.이용비접촉식Wyko NT1 100광학륜곽의소부대적동태측량계통(DMEMS),대개관적동태향응진행료측량.측량결과표명개관실현료쌍은태구동,개관실현상태완전절환도위대응적향응시간불도20 μs.
