传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2007年
11期
2386-2390
,共5页
王宏伟%腾功清%齐臣杰%江世宇
王宏偉%騰功清%齊臣傑%江世宇
왕굉위%등공청%제신걸%강세우
陀螺%微机械%摆动%敏感元件
陀螺%微機械%襬動%敏感元件
타라%미궤계%파동%민감원건
介绍旋转摆动式硅微机械陀螺电容敏感的原理,给出了陀螺振动单元的结构尺寸,计算了被测角速度和敏感电容的关系,进而得到被测角速度和输出电压的关系.利用微机械加工方法加工得到了硅振动单元,加工硅振动单元的工艺特点是双面多次光刻、腐蚀.介绍了制作旋转摆动式硅微机械陀螺敏感元件的工艺并对制作的敏感元件进行测试,测试结果表明"三明治"敏感元件四个敏感电容较计算得到的电容偏小.
介紹鏇轉襬動式硅微機械陀螺電容敏感的原理,給齣瞭陀螺振動單元的結構呎吋,計算瞭被測角速度和敏感電容的關繫,進而得到被測角速度和輸齣電壓的關繫.利用微機械加工方法加工得到瞭硅振動單元,加工硅振動單元的工藝特點是雙麵多次光刻、腐蝕.介紹瞭製作鏇轉襬動式硅微機械陀螺敏感元件的工藝併對製作的敏感元件進行測試,測試結果錶明"三明治"敏感元件四箇敏感電容較計算得到的電容偏小.
개소선전파동식규미궤계타라전용민감적원리,급출료타라진동단원적결구척촌,계산료피측각속도화민감전용적관계,진이득도피측각속도화수출전압적관계.이용미궤계가공방법가공득도료규진동단원,가공규진동단원적공예특점시쌍면다차광각、부식.개소료제작선전파동식규미궤계타라민감원건적공예병대제작적민감원건진행측시,측시결과표명"삼명치"민감원건사개민감전용교계산득도적전용편소.
