材料导报
材料導報
재료도보
MATERIALS REVIEW
2007年
5期
14-16,24
,共4页
AlN电子薄膜材料%电子元器件%应用%进展
AlN電子薄膜材料%電子元器件%應用%進展
AlN전자박막재료%전자원기건%응용%진전
AlN是一种在热、电、光和机械等方面具有良好综合性能的材料,作为电子薄膜材料在微电子、电子元件、高频宽带通信以及功率半导体器件等领域有广泛应用.简介了AlN薄膜的制备方法,评述了国内外各科研团体的最新研究成果和进展,阐述了AlN薄膜的应用,并综述了近年来AlN薄膜作为缓冲层、SOI结构的绝缘埋层和吉赫兹级声表面渡器件压电薄膜的研究现状.
AlN是一種在熱、電、光和機械等方麵具有良好綜閤性能的材料,作為電子薄膜材料在微電子、電子元件、高頻寬帶通信以及功率半導體器件等領域有廣汎應用.簡介瞭AlN薄膜的製備方法,評述瞭國內外各科研糰體的最新研究成果和進展,闡述瞭AlN薄膜的應用,併綜述瞭近年來AlN薄膜作為緩遲層、SOI結構的絕緣埋層和吉赫玆級聲錶麵渡器件壓電薄膜的研究現狀.
AlN시일충재열、전、광화궤계등방면구유량호종합성능적재료,작위전자박막재료재미전자、전자원건、고빈관대통신이급공솔반도체기건등영역유엄범응용.간개료AlN박막적제비방법,평술료국내외각과연단체적최신연구성과화진전,천술료AlN박막적응용,병종술료근년래AlN박막작위완충층、SOI결구적절연매층화길혁자급성표면도기건압전박막적연구현상.
