ZnO薄膜气敏元件
ZnO박막기민원건
The ZnO Thin-Film Gas Sensor
  • 万方数据
    计测技术 계측기술
    METROLOGY & MEASUREMENT TECHNOLOGY
    2006年 z1期 67-69 ,共3页

    孙静静%陈慧凯%裘南畹%李东华%卫东

    손정정%진혜개%구남원%리동화%위동

    ZnO%薄膜%实用化 ZnO%薄膜%實用化
    ZnO%박막%실용화
    通过在Al2O3衬底上粉末溅射ZnO做出了气敏特性和稳定性较好的ZnO薄膜气敏元件,实现ZnO薄膜的实用化,表明了ZnO是除SnO2外又一种新的气敏基材料.文中还对ZnO薄膜有关气敏特性和元件的气敏电流IG随酒气浓度C变化的规律进行了介绍.
    통과재Al2O3츤저상분말천사ZnO주출료기민특성화은정성교호적ZnO박막기민원건,실현ZnO박막적실용화,표명료ZnO시제SnO2외우일충신적기민기재료.문중환대ZnO박막유관기민특성화원건적기민전류IG수주기농도C변화적규률진행료개소.
    원문보기 원문다운로드 사이트로이동
저자의 최근 논문