传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2006年
6期
5-8
,共4页
陈丽洁%张鹏%徐兴烨%王福江
陳麗潔%張鵬%徐興燁%王福江
진려길%장붕%서흥엽%왕복강
矢量水听器%光学技术%MEMS技术%趋势
矢量水聽器%光學技術%MEMS技術%趨勢
시량수은기%광학기술%MEMS기술%추세
概述了水声换能器的内涵,水声测量用传感器的分类和作用;介绍了国外矢量水听器的技术发展及应用动态.归纳了矢量水听器在低频、高灵敏度的检测需求趋势和在高性能、小型化的实用需求以及包括薄膜检测、阵列检测的微光学检测、MEMS检测的技术发展趋势.
概述瞭水聲換能器的內涵,水聲測量用傳感器的分類和作用;介紹瞭國外矢量水聽器的技術髮展及應用動態.歸納瞭矢量水聽器在低頻、高靈敏度的檢測需求趨勢和在高性能、小型化的實用需求以及包括薄膜檢測、陣列檢測的微光學檢測、MEMS檢測的技術髮展趨勢.
개술료수성환능기적내함,수성측량용전감기적분류화작용;개소료국외시량수은기적기술발전급응용동태.귀납료시량수은기재저빈、고령민도적검측수구추세화재고성능、소형화적실용수구이급포괄박막검측、진렬검측적미광학검측、MEMS검측적기술발전추세.
