机电一体化
機電一體化
궤전일체화
MECHATRONICS
2006年
5期
18-22
,共5页
张翼%张培仁%王琪民%金恒华%周志良%蒋海峰
張翼%張培仁%王琪民%金恆華%週誌良%蔣海峰
장익%장배인%왕기민%금항화%주지량%장해봉
微质量传感器%QCM%结构设计%有限元分析
微質量傳感器%QCM%結構設計%有限元分析
미질량전감기%QCM%결구설계%유한원분석
文章介绍了一种新型的微质量传感器,通过测量QCM的谐振频率变化得出在QCM传感器表面吸附的微质量变化.文章还详细介绍了QCM传感器的设计和夹具的结构设计,并用ANSYS 9.0对QCM传感器进行了三维有限元建模,分析了电极尺寸对有限元谐振元振动特性的影响,提出了优化设计的方案,最后进行了实验.实验结果与理论值基本相同,从而证明了结构设计的合理性.
文章介紹瞭一種新型的微質量傳感器,通過測量QCM的諧振頻率變化得齣在QCM傳感器錶麵吸附的微質量變化.文章還詳細介紹瞭QCM傳感器的設計和夾具的結構設計,併用ANSYS 9.0對QCM傳感器進行瞭三維有限元建模,分析瞭電極呎吋對有限元諧振元振動特性的影響,提齣瞭優化設計的方案,最後進行瞭實驗.實驗結果與理論值基本相同,從而證明瞭結構設計的閤理性.
문장개소료일충신형적미질량전감기,통과측량QCM적해진빈솔변화득출재QCM전감기표면흡부적미질량변화.문장환상세개소료QCM전감기적설계화협구적결구설계,병용ANSYS 9.0대QCM전감기진행료삼유유한원건모,분석료전겁척촌대유한원해진원진동특성적영향,제출료우화설계적방안,최후진행료실험.실험결과여이론치기본상동,종이증명료결구설계적합이성.
