西安交通大学学报
西安交通大學學報
서안교통대학학보
JOURNAL OF XI'AN JIAOTONG UNIVERSITY
2006年
3期
341-343,372
,共4页
李艳宁%赵倩云%王忠顺%房轩%宋丽薇%李树民%傅星%胡小唐
李豔寧%趙倩雲%王忠順%房軒%宋麗薇%李樹民%傅星%鬍小唐
리염저%조천운%왕충순%방헌%송려미%리수민%부성%호소당
原子力显微镜%压电探针%微悬臂梁%轻敲模式
原子力顯微鏡%壓電探針%微懸臂樑%輕敲模式
원자력현미경%압전탐침%미현비량%경고모식
研究了采用微悬臂梁上集成的ZnO压电薄膜作为微驱动的探针的直接激振方法,比较了间接激振和直接激振方法下探针在液体中的振动性能,以标准生理溶液中的海拉细胞为样品,对原子力显微镜在液体环境下轻敲模式的成像性能进行了实验研究.研究表明,采用压电探针的直接激振方法在探针振动的幅频曲线中仅有单一谐振峰,可以避免在压电陶瓷管激振方法下由液体振动造成的寄生谐振峰,因此使用压电探针不仅提高了探针振动频率的控制精度,而且减小了针尖对样品的损坏,还提高了仪器的带宽和成像速度.对于512×512点阵和60 μm×60 μm范围的图像,使用该方法可将采集速度由原来的2～3 min/帧提高到15～20 s/帧,并且扫描速度的提高对原子力显微镜在动态过程中的研究有着重要的参考价值.
研究瞭採用微懸臂樑上集成的ZnO壓電薄膜作為微驅動的探針的直接激振方法,比較瞭間接激振和直接激振方法下探針在液體中的振動性能,以標準生理溶液中的海拉細胞為樣品,對原子力顯微鏡在液體環境下輕敲模式的成像性能進行瞭實驗研究.研究錶明,採用壓電探針的直接激振方法在探針振動的幅頻麯線中僅有單一諧振峰,可以避免在壓電陶瓷管激振方法下由液體振動造成的寄生諧振峰,因此使用壓電探針不僅提高瞭探針振動頻率的控製精度,而且減小瞭針尖對樣品的損壞,還提高瞭儀器的帶寬和成像速度.對于512×512點陣和60 μm×60 μm範圍的圖像,使用該方法可將採集速度由原來的2～3 min/幀提高到15～20 s/幀,併且掃描速度的提高對原子力顯微鏡在動態過程中的研究有著重要的參攷價值.
연구료채용미현비량상집성적ZnO압전박막작위미구동적탐침적직접격진방법,비교료간접격진화직접격진방법하탐침재액체중적진동성능,이표준생리용액중적해랍세포위양품,대원자력현미경재액체배경하경고모식적성상성능진행료실험연구.연구표명,채용압전탐침적직접격진방법재탐침진동적폭빈곡선중부유단일해진봉,가이피면재압전도자관격진방법하유액체진동조성적기생해진봉,인차사용압전탐침불부제고료탐침진동빈솔적공제정도,이차감소료침첨대양품적손배,환제고료의기적대관화성상속도.대우512×512점진화60 μm×60 μm범위적도상,사용해방법가장채집속도유원래적2～3 min/정제고도15～20 s/정,병차소묘속도적제고대원자력현미경재동태과정중적연구유착중요적삼고개치.
