新技术新工艺
新技術新工藝
신기술신공예
NEW TECHNOLOGY & NEW PROCESS
2006年
4期
60-62
,共3页
郑静琳%李玉和%廖小华%李庆祥
鄭靜琳%李玉和%廖小華%李慶祥
정정림%리옥화%료소화%리경상
多维纳米定位系统%扫描探针显微术(SPM)%直接驱动%导向机构
多維納米定位繫統%掃描探針顯微術(SPM)%直接驅動%導嚮機構
다유납미정위계통%소묘탐침현미술(SPM)%직접구동%도향궤구
扫描探针显微术是微观表面探测的关键技术,而多维定位系统是其重要组成部分.介绍了扫描探针显微技术中典型纳米级定位系统的结构、组成及其驱动技术,如压电驱动、静电驱动以及磁悬浮驱动等,分析了柔性支承微动机构的设计,并对本领域的研究热点和发展方向进行了总结和探讨.
掃描探針顯微術是微觀錶麵探測的關鍵技術,而多維定位繫統是其重要組成部分.介紹瞭掃描探針顯微技術中典型納米級定位繫統的結構、組成及其驅動技術,如壓電驅動、靜電驅動以及磁懸浮驅動等,分析瞭柔性支承微動機構的設計,併對本領域的研究熱點和髮展方嚮進行瞭總結和探討.
소묘탐침현미술시미관표면탐측적관건기술,이다유정위계통시기중요조성부분.개소료소묘탐침현미기술중전형납미급정위계통적결구、조성급기구동기술,여압전구동、정전구동이급자현부구동등,분석료유성지승미동궤구적설계,병대본영역적연구열점화발전방향진행료총결화탐토.
