微电子学
微電子學
미전자학
MICROELECTRONICS
2006年
1期
70-74
,共5页
言益军%戴永兵%王俊%孙宝德
言益軍%戴永兵%王俊%孫寶德
언익군%대영병%왕준%손보덕
TFT%多晶硅薄膜%准分子激光晶化%人工控制超级横向生长
TFT%多晶硅薄膜%準分子激光晶化%人工控製超級橫嚮生長
TFT%다정규박막%준분자격광정화%인공공제초급횡향생장
对准分子激光晶化制备TFT用多晶硅薄膜的研究进展进行了综述.介绍了晶化过程中的超级横向生长现象.主要结合各种基于光束调制和光刻技术的人工控制超级横向生长方法,讨论了获得大晶粒尺寸优质多晶硅薄膜的途径.
對準分子激光晶化製備TFT用多晶硅薄膜的研究進展進行瞭綜述.介紹瞭晶化過程中的超級橫嚮生長現象.主要結閤各種基于光束調製和光刻技術的人工控製超級橫嚮生長方法,討論瞭穫得大晶粒呎吋優質多晶硅薄膜的途徑.
대준분자격광정화제비TFT용다정규박막적연구진전진행료종술.개소료정화과정중적초급횡향생장현상.주요결합각충기우광속조제화광각기술적인공공제초급횡향생장방법,토론료획득대정립척촌우질다정규박막적도경.
