ZnO薄膜的塞贝克效应
ZnO박막적새패극효응
Seebeck effect of ZnO thin films
  • 万方数据
    真空 진공
    VACUUM
    2005年 3期 20-22 ,共3页

    李丽%王万录%廖克俊%陈秀东%杨丰帆%曹春兰%张瑞俭

    리려%왕만록%료극준%진수동%양봉범%조춘란%장서검

    ZnO薄膜%光学性质%塞贝克效应 ZnO薄膜%光學性質%塞貝剋效應
    ZnO박막%광학성질%새패극효응
    采用直流反应磁控溅射方法在玻璃基底上成功地沉积了C轴取向性能良好的ZnO薄膜.本文研究了C轴取向性良好的ZnO薄膜在光学方面的一些性质以及ZnO薄膜的塞贝克效应,并从理论上进行了分析.
    채용직류반응자공천사방법재파리기저상성공지침적료C축취향성능량호적ZnO박막.본문연구료C축취향성량호적ZnO박막재광학방면적일사성질이급ZnO박막적새패극효응,병종이론상진행료분석.
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