真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2005年
4期
290-292,296
,共4页
程树英%钟南保%黄赐昌%陈国南
程樹英%鐘南保%黃賜昌%陳國南
정수영%종남보%황사창%진국남
SnS薄膜%光电性能%热蒸发法
SnS薄膜%光電性能%熱蒸髮法
SnS박막%광전성능%열증발법
用热蒸发技术在ITO玻璃基片上沉积SnS薄膜.通过对该薄膜进行结构、成分和表面形貌分析,表明它是具有正交结构的SnS多晶薄膜;相对于恒电流电沉积法制备的SnS薄膜来说,该薄膜颗粒更细,粒径在(60~100) nm,并且它的均匀性和对基片的附着力也更好.通过测量薄膜样品的反射和透射光谱,得到其直接禁带宽度Eg=1.34 eV,在基本吸收边附近的吸收系数大于2×104 cm-1.该薄膜的导电类型为p型,电阻率的数量级为10-2 Ω·cm.因此,用热蒸发技术制备出的SnS薄膜的质量和性能都比较理想,该薄膜非常适合做太阳能电池的吸收层.
用熱蒸髮技術在ITO玻璃基片上沉積SnS薄膜.通過對該薄膜進行結構、成分和錶麵形貌分析,錶明它是具有正交結構的SnS多晶薄膜;相對于恆電流電沉積法製備的SnS薄膜來說,該薄膜顆粒更細,粒徑在(60~100) nm,併且它的均勻性和對基片的附著力也更好.通過測量薄膜樣品的反射和透射光譜,得到其直接禁帶寬度Eg=1.34 eV,在基本吸收邊附近的吸收繫數大于2×104 cm-1.該薄膜的導電類型為p型,電阻率的數量級為10-2 Ω·cm.因此,用熱蒸髮技術製備齣的SnS薄膜的質量和性能都比較理想,該薄膜非常適閤做太暘能電池的吸收層.
용열증발기술재ITO파리기편상침적SnS박막.통과대해박막진행결구、성분화표면형모분석,표명타시구유정교결구적SnS다정박막;상대우항전류전침적법제비적SnS박막래설,해박막과립경세,립경재(60~100) nm,병차타적균균성화대기편적부착력야경호.통과측량박막양품적반사화투사광보,득도기직접금대관도Eg=1.34 eV,재기본흡수변부근적흡수계수대우2×104 cm-1.해박막적도전류형위p형,전조솔적수량급위10-2 Ω·cm.인차,용열증발기술제비출적SnS박막적질량화성능도비교이상,해박막비상괄합주태양능전지적흡수층.