中国有色金属学报
中國有色金屬學報
중국유색금속학보
THE CHINESE JOURNAL OF NONFERROUS METALS
2004年
z3期
492-495
,共4页
邓传益%谢甜甜%李元昕%姜胜林
鄧傳益%謝甜甜%李元昕%薑勝林
산전익%사첨첨%리원흔%강성림
PST薄膜%溶胶-凝胶法%介电性能%铁电性能
PST薄膜%溶膠-凝膠法%介電性能%鐵電性能
PST박막%용효-응효법%개전성능%철전성능
为了制备非致冷红外焦平面阵列,采用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备出了PST铁电薄膜材料,研究了PST薄膜的结构及介电、铁电性能.XRD谱分析显示,PST膜呈现纯钙钛矿结构.SEM电镜照片显示,PST膜厚均匀一致,无裂纹、高致密.在室温且频率为1kHz时,PST膜介电常数为570,介电损耗为0.02,其热释电系数最大值为7.4×10-4C·m-2·K-1.
為瞭製備非緻冷紅外焦平麵陣列,採用溶膠-凝膠法在Pt/Ti/SiO2/Si基片上製備齣瞭PST鐵電薄膜材料,研究瞭PST薄膜的結構及介電、鐵電性能.XRD譜分析顯示,PST膜呈現純鈣鈦礦結構.SEM電鏡照片顯示,PST膜厚均勻一緻,無裂紋、高緻密.在室溫且頻率為1kHz時,PST膜介電常數為570,介電損耗為0.02,其熱釋電繫數最大值為7.4×10-4C·m-2·K-1.
위료제비비치랭홍외초평면진렬,채용용효-응효법재Pt/Ti/SiO2/Si기편상제비출료PST철전박막재료,연구료PST박막적결구급개전、철전성능.XRD보분석현시,PST막정현순개태광결구.SEM전경조편현시,PST막후균균일치,무렬문、고치밀.재실온차빈솔위1kHz시,PST막개전상수위570,개전손모위0.02,기열석전계수최대치위7.4×10-4C·m-2·K-1.
