功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2004年
4期
432-436
,共5页
程新利%林志浪%王永进%肖海波%张峰%邹世昌
程新利%林誌浪%王永進%肖海波%張峰%鄒世昌
정신리%림지랑%왕영진%초해파%장봉%추세창
厚膜 SOI材料%缺陷%光波导
厚膜 SOI材料%缺陷%光波導
후막 SOI재료%결함%광파도
利用 SIMOX技术和硅外延工艺制备了厚膜 SOI材料.采用 Secco液腐蚀、椭圆偏振仪 (SE)、 扩展电阻 (SRP)等技术对材料的性能进行了表征,分析了外延硅层中缺陷产生的主要原因.外延层 电阻率纵向分布均匀 ,其缺陷主要来源于衬底缺陷延伸和表面的不平整.用制备的厚膜 SOI材料 制作了脊型光波导并完成了光损耗测试实验 ,得到了传输损耗为 0.4dB/cm的波导结构.
利用 SIMOX技術和硅外延工藝製備瞭厚膜 SOI材料.採用 Secco液腐蝕、橢圓偏振儀 (SE)、 擴展電阻 (SRP)等技術對材料的性能進行瞭錶徵,分析瞭外延硅層中缺陷產生的主要原因.外延層 電阻率縱嚮分佈均勻 ,其缺陷主要來源于襯底缺陷延伸和錶麵的不平整.用製備的厚膜 SOI材料 製作瞭脊型光波導併完成瞭光損耗測試實驗 ,得到瞭傳輸損耗為 0.4dB/cm的波導結構.
이용 SIMOX기술화규외연공예제비료후막 SOI재료.채용 Secco액부식、타원편진의 (SE)、 확전전조 (SRP)등기술대재료적성능진행료표정,분석료외연규층중결함산생적주요원인.외연층 전조솔종향분포균균 ,기결함주요래원우츤저결함연신화표면적불평정.용제비적후막 SOI재료 제작료척형광파도병완성료광손모측시실험 ,득도료전수손모위 0.4dB/cm적파도결구.
